Numerical study on the fluid dynamical aspects of atomic layer deposition process
نویسندگان
چکیده
منابع مشابه
a study on the design of bio-ethanol process from date wastes of sistan and baluchistan province
اتانول کاربردهای متنوعی در صنایع لاستیک سازی، رنگسازی، حلالها ومکمل سوخت خودرو دارد. اتانول برخلاف نفت از جمله مواد تجدیدپذیر محسوب می شود که مشکلات زیست محیطی و آلودگی نیز ایجاد نمی کند. استفاده از اتانول به عنوان مکمل سوختخودروها از جمله مهمترین مصارف صنعتی این ماده بشمار می رود. با توجه به این موضوع تحقیق و توسعه در زمینه تولید اتانول با درجه خلوص بالا در سطح جهان، و نه تنها در کشور های پیشر...
Atomic Layer Deposition of Ru and Ruo 2 : New Process
Title of Document: Atomic Layer Deposition of Ru and RuO2: New Process Development, Fabrication of Heterostructured Nanoelectrodes, and Applications in Energy Storage Keith E. Gregorczyk, Doctor of Philosophy, 2013 Directed By: Professor Gary W. Rubloff, Minta Martin Professor of Engineering, Department of Materials Science & Engineering and Institut...
متن کاملa study on construction of iranian life tables: the case study of modified brass logit system
چکیده ندارد.
15 صفحه اولthe effect of consciousness raising (c-r) on the reduction of translational errors: a case study
در دوره های آموزش ترجمه استادان بیشتر سعی دارند دانشجویان را با انواع متون آشنا سازند، درحالی که کمتر به خطاهای مکرر آنان در متن ترجمه شده می پردازند. اهمیت تحقیق حاضر مبنی بر ارتکاب مکرر خطاهای ترجمانی حتی بعد از گذراندن دوره های تخصصی ترجمه از سوی دانشجویان است. هدف از آن تاکید بر خطاهای رایج میان دانشجویان مترجمی و کاهش این خطاها با افزایش آگاهی و هوشیاری دانشجویان از بروز آنها است.از آنجا ک...
15 صفحه اولFirst principles study of the atomic layer deposition of alumina by TMA-H2O-process.
Atomic layer deposition (ALD) is a coating technology used to produce highly uniform thin films. Aluminiumoxide, Al2O3, is mainly deposited using trimethylaluminium (TMA) and water as precursors and is the most studied ALD-process to date. However, only few theoretical studies have been reported in the literature. The surface reaction mechanisms and energetics previously reported focus on a gib...
متن کاملذخیره در منابع من
با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید
ژورنال
عنوان ژورنال: Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films
سال: 2018
ISSN: 0734-2101,1520-8559
DOI: 10.1116/1.5018475